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2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會

時間:2022-10-17瀏覽次數(shù):2829

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是重要的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),是新一輪工業(yè)革命的物質(zhì)基礎(chǔ),是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和高端制造業(yè)的支撐和保障,也是各國高技術(shù)競爭的關(guān)鍵領(lǐng)域。作為在半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)以及下游蝕刻,外延等工藝中不可缺少的關(guān)鍵輔料,高純石墨、碳/碳復(fù)合材料等炭材料在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要作用。近年來,隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,這些材料的市場需求迅速增加,并對制造技術(shù)、品質(zhì)提出了更高的要求,無疑為傳統(tǒng)炭材料企業(yè)的升級提供了巨大機(jī)遇。2019、2020、2021年分別于無錫、成都以及長沙舉辦第一屆、第二屆及第三屆半導(dǎo)體用炭材料研討會,與會代表對會議的演講內(nèi)容、討論內(nèi)容給予了高度贊譽(yù),極大的促進(jìn)了同行人員之間的技術(shù)交流、更好的促進(jìn)了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、加強(qiáng)了上下游產(chǎn)業(yè)鏈之間的深度融合。鑒于此,石墨邦聯(lián)合北京天宜上佳高新材料股份有限公司決定于2022年11月13-15日在成都召開“2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會”。現(xiàn)在我們在發(fā)送通知的同時,已開始著手本論壇的籌備工作。期待通過贊助或直接參加展示的單位與人員及早列入計(jì)劃,向主辦方預(yù)約展臺和贊助項(xiàng)目等。會議誠邀國內(nèi)外半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的專家、學(xué)者、工程技術(shù)人員以及設(shè)備儀器商,提前安排參會事項(xiàng)。


  主辦單位:


  湖南大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院


  中南大學(xué)粉末冶金研究院


  中科院炭材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室


  北京天宜上佳高新材料股份有限公司


  成都方大炭炭復(fù)合材料股份有限公司


  石墨邦


  大會主席:


  劉洪波 黃啟忠 郭全貴


  會議地點(diǎn):成都渝江飯店


  會議時間:11月14-15日(13日簽到)


  一、會議議題


  1、石墨材料的均質(zhì)性/一致性


  2、硅外延用石墨材料


  3、軟氈、硬氈、碳碳復(fù)合材料、碳陶復(fù)合材料


  4、碳化硅涂層在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用


  5、Cvi/Cvd法碳化硅涂層


  6、CNC在半導(dǎo)體石墨加工中的應(yīng)用


  7、PECVD石墨舟材料與加工


  8、超高純石墨工藝技術(shù)與裝備


  9、半導(dǎo)體石墨材料加工測試與表征

石墨盤

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