2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會
時間：2022-10-17瀏覽次數(shù)：2855半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是重要的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是新一輪工業(yè)革命的物質(zhì)基礎(chǔ)，是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和高端制造業(yè)的支撐和保障，也是各國高技術(shù)競爭的關(guān)鍵領(lǐng)域。作為在半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)以及下游蝕刻，外延等工藝中不可缺少的關(guān)鍵輔料，高純石墨、碳/碳復(fù)合材料等炭材料在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要作用。近年來,隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，這些材料的市場需求迅速增加，并對制造技術(shù)、品質(zhì)提出了更高的要求，無疑為傳統(tǒng)炭材料企業(yè)的升級提供了巨大機遇。2019、2020、2021年分別于無錫、成都以及長沙舉辦第一屆、第二屆及第三屆半導(dǎo)體用炭材料研討會，與會代表對會議的演講內(nèi)容、討論內(nèi)容給予了高度贊譽，極大的促進(jìn)了同行人員之間的技術(shù)交流、更好的促進(jìn)了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、加強了上下游產(chǎn)業(yè)鏈之間的深度融合。鑒于此，石墨邦聯(lián)合北京天宜上佳高新材料股份有限公司決定于2022年11月13-15日在成都召開“2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會”。現(xiàn)在我們在發(fā)送通知的同時，已開始著手本論壇的籌備工作。期待通過贊助或直接參加展示的單位與人員及早列入計劃，向主辦方預(yù)約展臺和贊助項目等。會議誠邀國內(nèi)外半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的專家、學(xué)者、工程技術(shù)人員以及設(shè)備儀器商，提前安排參會事項。
主辦單位：
湖南大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院
中南大學(xué)粉末冶金研究院
中科院炭材料重點實驗室
北京天宜上佳高新材料股份有限公司
成都方大炭炭復(fù)合材料股份有限公司
石墨邦
大會主席：
劉洪波 黃啟忠 郭全貴
會議地點：成都渝江飯店
會議時間：11月14-15日（13日簽到）
一、會議議題
1、石墨材料的均質(zhì)性/一致性
2、硅外延用石墨材料
3、軟氈、硬氈、碳碳復(fù)合材料、碳陶復(fù)合材料
4、碳化硅涂層在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
5、Cvi/Cvd法碳化硅涂層
6、CNC在半導(dǎo)體石墨加工中的應(yīng)用
7、PECVD石墨舟材料與加工
8、超高純石墨工藝技術(shù)與裝備
9、半導(dǎo)體石墨材料加工測試與表征
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