靶材如何進行分類和應用，石墨靶材會在哪個分類和應用領域
時間：2023-06-29瀏覽次數：2359靶材這種產品很多人聽了，都應該會很陌生，而靶材的應用領域相當廣泛，如半導體、顯示面板、電子、光學等，而靶材是有不同材料的，像石墨靶材、金屬靶材、陶瓷靶材，不同材料的靶材在應用領域上不同，接下來看看靶材如何進行分類和應用，石墨靶材會在哪個分類和應用領域。
靶材限制了薄膜的物理機械性能，影響涂層的質量。因此，靶材的質量評價比較嚴格，主要需要滿足以下要求：
1、質量低：純度高，靶材純度影響薄膜的均勻性。
2、密度：高密度靶材具有導電性、導熱性好、強度高等優點。該靶材用于鍍膜時，濺射功率小，沉積速率快??，膜層不易破裂，靶材壽命長，濺射薄膜電阻率低，透過率高。
3、分布均勻：組織結構均勻。靶材材料的均勻成分是確保一致的涂層質量的關鍵因素。
4、粒徑小：靶材晶粒尺寸越細，濺射薄膜的膜厚分布越均勻，濺射速度越快。
制造工藝
目前，靶材制造主要有鑄造和粉末冶金兩種。
粉末冶金法：
將一定成分比的合金原料熔化，注入鑄錠，然后粉碎。優點是靶材成分均勻。缺點是密度低。由于雜質含量高等原因，常用的粉末冶金工藝有冷壓、真空熱壓和熱等靜壓。
鑄造方法：
這是一種將一定成分比的合金原料熔化，將合金溶液倒入模具中制成鑄錠，后面通過機械加工制成靶材，然后在真空中熔化鑄造的鑄造方法。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子沖擊熔煉等。優點是靶材雜質含量（特別是氣體雜質含量、低、密度高、可大規模生產。缺點是熔點和密度相差較大。在兩種或兩種以上大金屬的情況下，通過普通的精煉方法很難獲得成分均勻的合金靶材。
靶材分類
根據不同材質分類，可分為00d100金屬靶材、陶瓷（氧化物、氮化物等、靶材和合金靶材。
根據形狀不同可分為矩形靶材、圓形靶材、圓柱形靶材、空心旋轉管靶材和異形靶材。
應用領域
光學記錄靶材：
1、相變盤記錄薄膜：硒化碲靶材、硒化銻靶材、鍺銻碲合金靶材、鍺碲合金靶材等。
2、磁光盤記錄薄膜：鏑/鐵/鈷合金靶材、鋱/鏑/鐵合金靶材、鋱/鐵/鈷合金靶材、氧化鋁靶材、氧化鎂靶材、氮化硅靶材等。
3、CD反射膜：鋁靶材、鋁鈦合金靶材、鋁鉻合金靶材、金靶材、金合金靶材等。
4、光盤保護膜：氮化硅靶材、氧化硅靶材、硫化鋅靶材等。
半導體領域：
1、電極及布線膜：鋁靶材、銅靶材、金靶材、銀靶材、鈀靶材、鉑靶材、鋁硅合金靶材、鋁硅銅合金靶材等。
2、存儲電極薄膜：鉬靶材、鎢靶材、鈦靶材等；
3、粘合膜：鎢靶材、鈦靶材等。
4、電容器絕緣膜：鋯鈦酸鉛靶材等。
顯示靶材：
1、透明導電膜：氧化銦錫靶材、氧化鋅鋁靶材等。
2、電極布線膜：鉬靶材、鎢靶材、鈦靶材、鉭μm靶材、鉻靶材、鋁靶材、鋁鈦合金靶材、鋁鉭合金靶材等。
3、電致發光薄膜：硫化鋅摻雜錳靶材、硫化鋅摻雜鋱靶材、硫化鈣摻雜銪靶材、氧化釔靶材、氧化鉭靶材、鈦酸鋇靶材等。
磁記錄靶材：
1、垂直磁記錄薄膜：鈷鉻合金靶材等。
2、硬盤用薄膜：鈷鉻鉭合金靶材、鈷鉻鉑合金靶材、鈷鉻鉭鉑合金靶材等。
3、薄膜磁頭：鈷鉭鉻合金靶材、鈷鉻鋯合金靶材等。
4、人造晶體薄膜：鈷/鉑合金靶材、鈷/鈀合金靶材等。
其他應用靶材：
1、裝飾膜：鈦靶材、鋯靶材、鉻靶材、鈦鋁合金靶材、不銹鋼靶材等。
2、低電阻膜層：鎳鉻合金靶材、鎳鉻硅合金靶材、鎳鉻鋁合金靶材、鎳銅合金靶材等。
3、超導薄膜：釔/鋇/銅/氧靶材、鉍/鍶/鈣/銅/氧靶材等；
4、工具鍍膜：氮化物靶材、碳化物靶材、硼化物靶材、鉻靶材、鈦靶材、鈦鋁合金靶材、鋯靶材、石墨靶材等。
綜上所述，可以看到不同靶材，可以按材料區分，可以按形狀區分，應用的領域有半導體、 顯示、光學記錄、光學記錄等，像石墨靶材分類在其它應用領域。
